寧波民企攻克國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)
寧波民企攻克國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)
2017年05月27日 10:09:27 來(lái)源:浙江在線(xiàn) 作者:翁云騫
日前，科技部國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”實(shí)施管理辦公室在寧波召開(kāi)驗(yàn)收會(huì)，由民企浙江金瑞泓科技股份有限公司牽頭的“8英寸硅片研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化及12英寸硅片關(guān)鍵技術(shù)研究”項(xiàng)目順利通過(guò)驗(yàn)收。這標(biāo)志著我國(guó)大直徑硅片國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程邁出重要一步。
集成電路芯片是信息時(shí)代的核心基石，而硅片又是集成電路和分立器件制造核心基礎(chǔ)材料，在整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中的地位顯而易見(jiàn)，但我國(guó)大尺寸硅片長(zhǎng)期依賴(lài)進(jìn)口，制約了相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展和供應(yīng)鏈安全?！秶?guó)家中長(zhǎng)期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要（2006-2020）》確定了16個(gè)重大專(zhuān)項(xiàng)，其中“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專(zhuān)項(xiàng)”就位列其中。
“硅片市場(chǎng)壟斷性強(qiáng)，國(guó)內(nèi)單月需求量超過(guò)70萬(wàn)片，可國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)的供應(yīng)量還不到10萬(wàn)片。憑借多年來(lái)與浙江大學(xué)硅材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室等院所合作積累下的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，我們的國(guó)產(chǎn)8英寸半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)工藝和技術(shù)指標(biāo)不斷提升，已具備跟國(guó)際一線(xiàn)廠商正面競(jìng)爭(zhēng)的實(shí)力?！苯鹑疸萍枷嚓P(guān)負(fù)責(zé)人表示。
尺寸越大，硅片的各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)就越高，生產(chǎn)難度也越大。記者了解到，自從承擔(dān)國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)以來(lái)，金瑞泓科技相關(guān)團(tuán)隊(duì)不斷實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵性制備技術(shù)突破，目前已完全掌握多項(xiàng)核心技術(shù)。截至目前，金瑞泓科技共獲相關(guān)授權(quán)發(fā)明專(zhuān)利35項(xiàng)，制定行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)40余項(xiàng)，同時(shí)也成為國(guó)內(nèi)唯一擁有硅單晶錠、硅研磨片、硅拋光片、硅外延片等全系產(chǎn)品生產(chǎn)能力的半導(dǎo)體企業(yè)，具備月產(chǎn)12萬(wàn)片拋光片、5萬(wàn)片外延片的產(chǎn)能。
在金瑞泓科技等企業(yè)帶動(dòng)下，寧波已成為國(guó)內(nèi)知名的集成電路材料基地，在全省乃至全國(guó)處于領(lǐng)先地位。寧波還成立了首期規(guī)模100億元、按市場(chǎng)化機(jī)制運(yùn)行的集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金，志在打造國(guó)家級(jí)集成電路特色工藝產(chǎn)業(yè)基地和專(zhuān)用材料產(chǎn)業(yè)基地，規(guī)劃建成長(zhǎng)三角南翼集成電路產(chǎn)業(yè)強(qiáng)市。
責(zé)任編輯：樓昕
